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半導(dǎo)體制造是個(gè)復(fù)雜且漫長(zhǎng)的生產(chǎn)過(guò)程，對(duì)穩(wěn)定性和精度有較高的要求，因此，自動(dòng)化的興起，則讓半導(dǎo)體制造業(yè)有了節(jié)省人力、提升生產(chǎn)效率的新方法。
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